用途：
在高溫并在真空狀態(tài)下，通入碳源氣體，在高溫下產(chǎn)生裂解，沉積到工件上，主要用于C/C的化學(xué)氣相沉積，使復(fù)合材料得到致密化處理。
可選項(xiàng)：
1、底裝料式
2、上裝料式
設(shè)備溫區(qū)大小可根據(jù)客戶(hù)實(shí)際需求定制。
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